대향전극 스퍼트링 시스템의 방전특성에 관한 연구

Abstract

본 논문은 대향전극 스퍼트링 시스템의 방전특성에 크게 영향을 미치는 자계, 진공도 그리고 전극간 거리에 따른 방전특성을 연구하였다.

대향전극 스퍼트링 시스템에서 자계는 초기방전 발생전압특성에 크게 영향을 미치며, 약 100[Gauss]에서 최저방전 발생전압특성을 보였다. 진공도 P=1[motorr]인 동일 조건하에서, 인가전압에 따른 방전전류 특성은 대향전극간의 거리 L=7[㎝], 전극의 가아드링의 직경 d=7[㎝]일때 가장 양호한 특성을 나타내었다. 가드링의 직경이 7[㎝]인 경우와 6[㎝]인 경우를 비교하면 7[㎝]인 경우에서 전자온도와 전자밀도가 높게 나타났다.

This paper investigated the discharge characteristics on the Facing Targets Sputtering System (FTSS).

As a result, discharge occurrence voltage and discharge current characteristics are significantly affected by magntic flux density. The minimum values of discharge occurrence voltage are obtained about 100[Gauss] regardless of electrode distance between two opposite targets. Compared with d=7[㎝] and d=6[㎝] diameter of guard ring, the electron temperature and electron density at d=7[㎝] are higher than that of d=6[㎝].

This paper investigated the discharge characteristics on the Facing Targets Sputtering System (FTSS).

As a result, discharge occurrence voltage and discharge current characteristics are significantly affected by magntic flux density. The minimum values of discharge occurrence voltage are obtained about 100[Gauss] regardless of electrode distance between two opposite targets. Compared with d=7[㎝] and d=6[㎝] diameter of guard ring, the electron temperature and electron density at d=7[㎝] are higher than that of d=6[㎝].