규소 단결정 성장과 결정 기술의 경향

Abstract

규소 단결정 성장의 기술에 대한 조사를 하였다. 오늘날 상업적으로 가장 많이 이용되고 있는Czochralski (CZ) 규소 단결정 성장기술과 float zone (FZ) 성장기술으 비교하였다. 규소 단결정 성장기술의 진전을 설명하였고, 단결정 성장의 장래의 예상되는 경향에 대한 설명을 하였다.

The techniques of the silicon single-crystal growth are reviewed. A Comparision between float zone (FZ) and Czochralski (CZ) silicon crystal growing techniques in commercial use today is presented. Progress in crystal growing techenques is described. A look into possible future tends in the crystal growing also included.

The techniques of the silicon single-crystal growth are reviewed. A Comparision between float zone (FZ) and Czochralski (CZ) silicon crystal growing techniques in commercial use today is presented. Progress in crystal growing techenques is described. A look into possible future tends in the crystal growing also included.