Browsing by 저자 : Cho, Tong-Yul
전체 결과 4건 중 1-4 번을 표시중입니다.
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1
Research Laboratory
Thermal MOCVD와 DC pulsed PA-MOCVD에 의해 증착된 TiN 박막 연구
박용균
;
이영섭
;
이태수
;
et al
2001
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2
Research Laboratory
UV/Cl₂(g)에 의한 Si-wafer 표면금속 오염물의 건식세정에 관한 연구
손동수
;
정광진
;
최성호
;
et al
1998
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3
Research Laboratory
실리콘 웨이퍼 공정용 알루미나 정전척의 제작과 특성에 관한 연구
천희곤
;
조동율
;
이영섭
;
et al
1999
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4
Research Laboratory
정전분무를 이용한 MOCVD에 의해 증착된 TiO_2 박막의 특성 연구
이영섭
;
박용균
;
이성재
;
et al
2002
1